«Фотолитографическим» - ударение в слове
В указанном выше слове ударения следует ставить на слог с первой буквой О и на слог со второй буквой И — фОтолитографИческим.
фОтолитографИческим.
Фотолитографическим - образовано от слова фотолитографический
Примеры
Микросхемы наносятся на пластину фо́толитографи́ческим способом. — Сергей Белановский, Интервью с рабочим завода по производству электронных микросхем